Время чтения 3 минуты

Стремясь зарекомендовать себя в качестве ведущего мирового производителя микросхем, компания Intel быстро прогрессирует во внедрении передовых машин для изготовления микросхем в свой технологический процесс. Ранее сегодня компания сообщила, что завершила сборку «первого в отрасли» станка для изготовления чипов с высокой числовой апертурой в научно-исследовательском центре в Орегоне. Заявление Intel последовало за пресс-релизом, сделанным компанией ранее на этой неделе, в котором объяснялись преимущества использования технологии High NA для производства чипов и то, как фирма намерена использовать уникальные преимущества, предлагаемые этими машинами, для ускорения процесса производства.

Intel планирует запустить в производство инструменты для изготовления микросхем с высокой числовой апертурой в следующем году

Машины для производства чипов, особенно современное оборудование, используемое Intel и Тайваньской компанией по производству полупроводников (TSMC), производятся всего одной фирмой — голландской ASML. Естественно, это означает, что по мере роста спроса на кремниевую продукцию производители чипов спешат заполучить это оборудование.

Intel взяла на себя инициативу, представив самые передовые машины для производства чипов, а именно инструменты для работы в ультрафиолете с высокой числовой апертурой, поставив первую машину на свои мощности в прошлом году. Это также была первая машина High NA, которую ASML отправила заказчику, и в объявлении Intel ранее сегодня говорилось, что она успешно собрала машину в рамках «первого легкого» процесса. Фирма планирует сначала начать работать с изделиями с длительным сроком поставки, поскольку она получит доступ к машинам для разработки и начнет работать с машиной в Орегоне.

В ходе пресс-конференции директор отдела литографии Intel Марк Филлипс рассказал о преимуществах, которые его фирма ожидает от этого оборудования. По его словам, поскольку высокая числовая апертура позволяет производителям микросхем использовать меньше света на одну операцию в процессе производства чипов, это сокращает время, необходимое для печати слоев чипа. Это сокращает общее время печати пластины чипа и ускоряет процесс.

По словам Миллера, Intel 14A станет первым узлом, который будет использовать машины с высокой числовой апертурой для производства чипов. Intel также поделилась обновленной дорожной картой процесса, и высокая числовая апертура позволяет ей улучшить разрешение и упростить процесс производства чипов за счет уменьшения количества масок, необходимых для печати четких рисунков схем на кремнии.

Поскольку старые машины имеют ограничения по размеру печатаемых схем, современные машины, такие как инструменты с высокой числовой апертурой, уменьшают сложность производства, поскольку их способность печатать схемы меньшего размера устраняет необходимость использования дополнительных компонентов во время изготовления чипов.

Миллер также подчеркнул, что производство масок Intel, методы повышения разрешения и стратегии устранения дефектов также улучшат качество продуктов, которые она может производить на машинах с высокой числовой апертурой. Фирма исследует способы, с помощью которых молекулы могут самостоятельно собираться в шаблоны для сборки в рамках уменьшения дефектов, в то время как повышение разрешения для более четкого качества печати включает « совместную оптимизацию » света с помощью специально разработанных масок, чтобы « сдвинуть шаблон значительно ниже длины волны». света. «

Машины EUV сыграли противоречивую роль в истории Intel: борьба с первыми такими машинами привела к значительным задержкам, из-за которых Intel проиграла TSMC гонку по производству передовых чипов. Во время своего выступления Миллер объяснил, что до наступления эпохи EUV в производстве чипов, то есть до 2015 года, Intel могла полагаться на регулярные обновления машин и их производственных характеристик, таких как управление температурным режимом. Ситуация изменилась с появлением EUV, когда «стратегия Intel по внедрению EUV » вызвала проблемы со сроками производства.

Intel стремится избегать использования нескольких шаблонов на машинах с низкой числовой апертурой (0,33) EUV и вместо этого полагаться на машины с большей апертурой. Руководитель Intel также высоко оценил тот факт, что некоторые модули на машинах с высоким числом числовых значений, такие как исходный модуль, модуль пластины и компоненты в модуле сетки, используются совместно с машинами с низким числом числовых значений ЕС, что упрощает интеграцию новые машины в поток производства чипов. Intel также тесно сотрудничает с ASML, чтобы гарантировать, что сроки разработки машин не застанут ее врасплох, и поможет фирме придерживаться своей дорожной карты технологических процессов производства чипов.

Заявление Intel было сделано в тот же день, когда ASML объявила об отправке второй системы с высокой числовой апертурой неизвестному заказчику. Характер передового производства чипов в сочетании с составом отрасли означает, что вполне вероятно, что эту машину купили либо Samsung, либо TSMC.

Новые машины являются дорогостоящими и технологически сложными, поэтому такие компании, как тайваньская UMC, производящие старые чипы, могут использовать старые машины, чтобы оставаться экономически эффективными.